某半导体材料厂在生育具体步骤中在使用硝酸钠系成像液，引发高氧化还原电位含NOx污废水 ，日治理 量50吨。污废水 中含NO2-超过2000mg/L，且所含少量可挥发光刻胶营养成分，治理 高难度较高。 2. 污废水 成分表及來源 成像环节废水（大部分破坏源） 晶圆擦拭废污水 烟气干洗塔排水的 3. 加工处理技艺生产流程图 采用了"高阶被氧化+二级生态学加工处理"去创新技艺： 臭氧老化钝化 ：经过臭氧的危害發生器造成O3，将难光降解有机化学物被分解转换成为小氧分子的物质，同一将NO2-钝化为NO3-。 生态学膜体现器（MBR） ： 弟一级：缺氧症状自然环境下加药甲醇作为一个碳源，加快反硝化细菌想法 第二个级：好氧生物制品膜进一点挥发可挥发物 电物理化学长度整理 ：选取钛基铝层探针，经由电解设备的作用完全彻底被分解转换成残余物的工业废气。 4. 之后成效 NOx总氮低于8mg/L下面的 COD稳定性高在30mg/L内 废气回收率达60% 抑制系统进行耗电率抑制在3.5kWh/吨水，较传统化艺绿色建筑20%。