该晶圆加工加工厂坐落在华北东南部,具体生产的销售85英寸光电器件晶圆,平均生产的废水直接使用的量上涨约800吨。犹豫生产的销售全过程中使用的更多氢氧化钠实现晶圆蚀刻,导至生产的废池里氟化物氧化还原电位更是高达200-300mg/L,远超地区直接废气规则(10mg/L低于)。
废水处理工艺基本成分及来源地
废污水重要发源这几个方式:
晶圆蚀刻流程
:含高溶度氟化物(HF)、盐酸及极少量血本属
药剂学机械装备cnc精密机械加工(CMP)焦化废水
:含nm级硅颗粒物、有机酸络合剂
设备洁净废污水
:含异丙醇、氧化还原电位等生产物
治理 步奏步奏
用于"化学工业奠定+混泥土奠定+层次吸附"二级加工体系:
3级补救
:加药系统氯化钙和氢被氧化钙,出现氟化钙滤渣,氟化物弄掉率达85%
二级考试正确处理
:获取PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),清理橡胶胶体部分态污染破坏物
二级补救
:凭借多材质过滤程序器和活性酶类炭吸附性,水流氟化物溶度增强在8mg/L之下
关键的设配包含:pH自行改善整体、斜管悠长岁月中池、板框压泥机(活性污泥脱水器)。
以后功能
内容正常运作六年监测系统统计数据提示:
氟化物差不多酸度:7.2mg/L(达不到地区规范)
COD除去率:92%
工业废水水分含量率:≤65%
年的回收应用氟化钙副车辆约150吨,改变的秸秆综合应用应用