该厂为89英寸晶圆带来线模块化的超去离子水软件系统，定期带来含硅废气150吨。废气中虽无天价属，但硅含量的高易结渣，且热敏电阻率需提升18MΩ·cm方能回收。原本治疗艺未能需求新实行的《光电子工业生产水环境破坏物排出准则》（GB39731-2020）格外排出规定值。 废污水组成特色 最主要的环境破坏物 ：溶液硅（200-300mg/L）、粒状硅（颗粒直径0.1-1μm） 个性化的要求 ：TOC<10μg/L，硼含水量<5μg/L 水环境基本特征 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物价值形式复杂的 进行处理加工制作工艺 标准流程 不断创新选用"梯级膜区分+电去化合物"搭配组合工艺设计： 微滤预加工处理 ：1μm陶瓷制品膜拦阻大小粒硅，通量形成80LMH 阴离子互换环氧树脂 ：D201大孔环氧树脂选性吸附性硅酸团伙 二级考试RO设备 ：第一个段再利用率60%，第二个段进行高脱硼膜元器件 EDI电去阳离子 ：功率规格2A/m²，坚持清掉残留亚铁离子 UV紫外线消毒杀菌 ：254nm太阳光的太阳中的紫外线线药量40mJ/cm² 新技术薄弱环节 搭建多功能阻硅剂（有机会胺类塑料物），延长时间膜污染源时间段3倍 EDI引擎技术创新流道构思，硅清理率加强至99.8% 网络硅阐述仪（校正范畴0.1-500μg/L）达成精准脱贫抑制 操作认真总结 经3、方加测： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼浓度从8μg/L调至0.3μg/L 设计回报率从原40%提高了至68% 膜换掉过渡期加长至5年，年启动成本价降底35%