天津某半导体设备集成ic研制厂，晶圆工艺过程中中引发含硅、氟的异常生产工业废水，定制治理 数量1200吨/日。生产工业废水基本成分缜密，包含nm级硅科粒及盐酸，过去的治理 具体方法难于达到。 废渣成份及源头 基本生态破坏物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm颗粒直径）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 原因生产工序 ：晶圆刻蚀电镀废水处理工艺（45%）、CMP物理机械厂打磨电镀废水处理工艺（40%）、设施设备清洁水（15%） 操作加工过程步骤流程 科技创新适用"化学上的析出+特殊工种膜破乳"技艺路线图： 钙盐析出 ：添加氯化钙除去氟化合物（自动生成CaF2沉淀自己） 斜板沉淀池现象 ：符合二沉池剂满足橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔的直径膜挪用微细粉末 反渗透膜工作会更系统 ：脱盐率>98%，回收利用率75% 汽化晶粒 ：浓水段实现了氟化物零释放 进而使用效果 氟化物渗透压：<8mg/L（高于发达国家特一级标准单位10mg/L） 硅水平：<5mg/L 水环境的中水回用率：70%使用于空气凉水塔保湿补水 危废处理减轻药量：化掉残留物量较传统艺术制作工艺抑制60%